Litografia diseinatutako eredu bat zuzenean edo bitarteko bitarteko baten bidez gainazal lau batera transferitzeko teknika da, eredurik behar ez duten gainazaleko eremuak alde batera utzita. Maskararen litografian, diseinuak substratu batean inprimatzen dira eta alaserrahorrela, metatutako materiala grabatu dadin, prozesatzeko prest. Litografia-metodo hau oso erabilia da obleak erdieroaleen ekoizpen masiboan. Oblean ezaugarri txikien irudi zorrotzak proiektatzeko gaitasuna erabiltzen den argiaren uhin-luzerak mugatuta dago. Gaur egungo litografia tresna aurreratuenek argi ultramore sakona (DUV) erabiltzen dute, eta etorkizunean uhin-luzera hauek ultramore sakona (193 nm), hutseko ultramorea (157 nm eta 122 nm) eta muturreko ultramorea (47 nm eta 13 nm) hartzen jarraituko dute. ). Produktu konplexuek eta IC, MEMS eta merkatu biomedikoetarako maiz egindako diseinu aldaketek --funtzio eta substratu-tamaina askoren eskaria hazten ari den-- konponbide oso pertsonalizatuak fabrikatzeko kostua handitu dute, ekoizpen-bolumenak murrizten dituzten bitartean. Maskaretan oinarritutako (maskara) litografia-soluzio tradizionalak ez dira errentagarriak edo praktikoak aplikazio horietako askotan, non maskara-kit ugari diseinatzeko eta fabrikatzeko behar den kostua eta denbora azkar handitu daitezkeen. Hala ere, maskararik gabeko litografia-aplikazioek ez dute UV uhin-luzera oso laburren beharrak oztopatzen, eta horren ordez erabiltzenlaserraraurdin eta UV barrutietako iturriak. Maskararik gabeko litografian,laserrarazuzenean mikro/nano egiturak sortzen ditu material fotosentikorren gainazalean. Litografia-metodo polifazetiko honek ez du maskararen kontsumigarrietan oinarritzen eta diseinu-aldaketak azkar egin daitezke. Ondorioz, prototipoak eta garapen azkarrak errazten dira, diseinuaren malgutasun handiagoarekin, eremu handien estalduraren abantailari eutsiz (adibidez, 300 mm-ko obleak erdieroaleak, pantaila lauak edo PCBSak). Ekoizpen azkarraren eskakizunak betetzeko,laserrarakmaskararik gabeko litografiarako erabiltzen diren maskara aplikazioetarako erabiltzen direnen antzeko ezaugarriak dituzte: Etengabeko uhinen argi iturriak epe luzerako potentzia eta uhin-luzeraren egonkortasuna du, lerro-zabalera estua eta maskara aldaketa txikia du. Bizitza luzeko egonkortasuna mantentze gutxirekin edo produkzio-zikloen etenarekin garrantzitsua da bi aplikazioetarako. DPSSlaserrararak lerro-zabalera estu ultra-egonkorra du, uhin-luzeraren egonkortasuna eta potentzia-egonkortasuna, eta bi litografia metodoetarako egokia da. Potentzia handiko eta maiztasun bakarrekolaserrararak diseinatzen eta fabrikatzen ditugu, uhin-luzeraren egonkortasun paregabearekin, lerro-zabalera estuarekin eta luzera lehorretako uhin-luzera tartean aztarna txikiarekin, lehendik dauden sistemetan integratzeko ezin hobeak izanik.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
